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33 件のレコードが見つかりました。
Using selective-area growth and selective-area etching on (−102) β-Ga2O3 substrates to fabricate plasma-damage-free vertical fins and trenches
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, (-102), selective area growth, selective area etching
- 刊行年月日
- 2024-01-22
- 更新時刻
- 2025-01-25 12:30:12 +0900
Materials issues and devices of α- and β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Elaheh Ahmadi
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, power device, epitaxy
- 刊行年月日
- 2019-10-28
- 更新時刻
- 2024-01-29 15:08:11 +0900
Fabrication of coherent γ-Al2O3/Ga2O3 superlattices on MgAl2O4 substrates
- 論文
- 著者
-
Yuji Kato
;
Masataka Imura
;
Yoshiko Nakayama
;
Masaki Takeguchi
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, Superlattice
- 刊行年月日
- 2019-06-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:11:34 +0900
α-Al2O3/Ga2O3 superlattices coherently grown on r-plane sapphire
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuji Kato
;
Masataka Imura
;
Yoshiko Nakayama
;
Masaki Takeguchi
- キーワード
- Ga2O3, Superlattice
- 刊行年月日
- 2018-06-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:12:13 +0900
Epitaxial relationship of NiO on (-102) β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Shinji Nakagomi
- キーワード
- Ga2O3, NiO, epitaxial relationship
- 刊行年月日
- 2023-12-01
- 更新時刻
- 2024-11-23 16:30:35 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching
- 刊行年月日
- 2023-06-01
- 更新時刻
- 2024-06-15 08:30:13 +0900
Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, selective area growth
- 刊行年月日
- 2022-07-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:27 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, lithography
- 刊行年月日
- 2023-01-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 11:20:15 +0900
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
- 論文
- 著者
-
Qihao Zhang
;
Jiangwei Liu
;
Chunming Tu
;
Dongyuan Zhai
;
Min He
;
Jiwu Lu
- キーワード
- Ga2O3, Transistor
- 刊行年月日
- 2023-01-03
- 更新時刻
- 2025-01-04 16:30:50 +0900