キーワード: lithography
全ての絞り込みを解除

1 件のレコードが見つかりました。

T. Oshima_Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography.docx
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
論文
著者
Takayoshi Oshima SAMURAI ORCID
キーワード
Ga2O3, lithography
刊行年月日
2023-01-01
更新時刻
2024-01-24 11:20:15 +0900