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論文(1)
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Ga2O3 (1)
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キーワード: wet etching
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1 件のレコードが見つかりました。
Fabrication of
β
-Ga
2
O
3
/air-gap structures on (010)
β
-Ga
2
O
3
by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
論文
著者
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
,
wet etching
,
MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900
キーワード
Ga2O3
(1)
MEMS
(1)
TMAH
(1)
wet etching
(1)
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RDE送り状
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