Fabrication of β -Ga ₂ O ₃ /air-gap structures on (010) β -Ga ₂ O ₃ by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)

論文

著者

Takayoshi Oshima

キーワード

Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS

刊行年月日

2025-11-01

更新時刻

2025-11-27 08:30:13 +0900