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Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- 論文
- 著者
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Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
- 刊行年月日
- 2025-05-01
- 更新時刻
- 2025-05-07 12:30:22 +0900