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Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
- 論文
- 著者
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Takayoshi Oshima
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Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
- 刊行年月日
- 2025-05-01
- 更新時刻
- 2025-05-07 12:30:22 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching
- 刊行年月日
- 2023-06-01
- 更新時刻
- 2024-06-15 08:30:13 +0900