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Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
- 刊行年月日
- 2025-05-01
- 更新時刻
- 2025-05-07 12:30:22 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching
- 刊行年月日
- 2023-06-01
- 更新時刻
- 2024-06-15 08:30:13 +0900