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paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
jjap_65_13_138001.pdf
(110)- and (−134)-faceted surface morphology of halide vapor phase epitaxy-grown β- Ga 2 O 3 homoepitaxial layers on (011) substrates
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (011), AFM, TEM
刊行年月日
2026-07-15
更新時刻
2026-07-09 10:29:39 +0900
ScN_UVSE_BSE_article_vRev1.pdf
Dielectric function and electronic structure of nondegenerate rocksalt ScN: Spectroscopic ellipsometry and GW calculations
ジャーナル論文
著者
Jona Grümbel (author) (この著者で検索)
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Rüdiger Goldhahn (author) (この著者で検索)
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Martin Feneberg (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Hazem Abu-Farsakh (author) (この著者で検索)
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Abdallah Qteish (author) (この著者で検索)
キーワード
ScN, dielectric
刊行年月日
2026-02-19
更新時刻
2026-05-18 09:12:47 +0900
J_Appl_Phys_139_075302_(2026).pdf
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kazuto Murakami (author) (この著者で検索)
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Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)
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Takahiro Tomita (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, HVPE, Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900
Rapid homoepitaxial growth of 011 -Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy.pdf
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
Fabrication of -Ga2O3 air-gap structures on 001 -Ga2O3 using HCl gas etching.pdf
Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-09-04 12:30:25 +0900
HCl-gas etching behavior of 001 -Ga2O3 under oxygen supply.pdf
HCl-gas etching of (001) β-Ga2O3 under oxygen supply
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, etching, plasma-free
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-09-04 12:30:19 +0900
Physica Status Solidi b - 2025 - Penman - Comparative Study of the Optical Properties of ‐ ‐ and ‐Ga2O3.pdf
Comparative Study of the Optical Properties of α‐, β‐, and κ‐Ga2O3
ジャーナル論文
著者
Lewis T. Penman (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Zak M. Johnston (author) (この著者で検索)
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Paul R. Edwards (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI ;
Clifford McAleese (author) (この著者で検索)
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Piero Mazzolini (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Matteo Bosi (author) (この著者で検索)
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Luca Seravalli (author) (この著者で検索)
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Roberto Fornari (author) (この著者で検索)
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Robert W. Martin (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Fabien C.‐P. Massabuau (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Ga2O3
刊行年月日
2025-02-12
更新時刻
2025-08-18 16:30:52 +0900
EB_alpha-GO_240422-2HQ(clean).pdf
Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
FLOSFIA INC.
キーワード
Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
刊行年月日
2025-05-19
更新時刻
2025-05-21 16:30:09 +0900
055207_1_5.0260753-2-8.pdf
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
刊行年月日
2025-05-01
更新時刻
2025-05-07 12:30:22 +0900