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コレクション

引用

代替タイトル: ハライド気相成長法２ - α- および ε-Ga2O3 のヘテロエピ成長

説明:

αおよびε酸化ガリウムのHVPE成長について解説する。

権利情報:

• In Copyright
  

キーワード: Ga2O3, HVPE

刊行年月日: 2020-04-24

出版者: Springer

掲載誌:

• Gallium Oxide: Crystal Growth, Materials Properties, and Devices (Springer)

研究助成金:

原稿種別: 著者最終稿 (Accepted manuscript)

MDR DOI: https://doi.org/10.48505/nims.4363

公開URL: https://link.springer.com/chapter/10.1007/978-3-030-37153-1_11

関連資料:

その他の識別子:

連絡先:

更新時刻: 2024-01-30 10:29:29 +0900

MDRでの公開時刻: 2024-01-30 12:30:20 +0900