Near-vertical plasma-free HCl gas etching on (011) β-Ga₂O₃

論文

著者

Takayoshi Oshima ; Yuichi Oshima

キーワード

Ga2O3, crystallographic etching, (011)

刊行年月日

2025-01-01

更新時刻

2026-01-24 15:43:35 +0900