キーワード: Ga2O3
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19 件のレコードが見つかりました。

paper.pdf
Wet etching of (−102) β-Ga 2 O 3 with tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, wet etching, TMAH
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-06-11 15:11:01 +0900
042110_1_5.0186319.pdf
Using selective-area growth and selective-area etching on (−102) β-Ga2O3 substrates to fabricate plasma-damage-free vertical fins and trenches
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (-102), selective area growth, selective area etching
刊行年月日
2024-01-22
更新時刻
2025-01-25 12:30:12 +0900
APL26-AR-02454_accepted_manuscript.pdf
High Schottky barrier formation in tilted-dipole PdCoO2/ β -Ga2O3 (001) interfaces
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Kohei Sasaki (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Thin film, Ga2O3, Delafossite, Power devices, Schottky
刊行年月日
2026-06-01
更新時刻
2026-06-10 14:51:59 +0900
jjap_64_8_088001.pdf
Step-and-terrace surface formation on (001) β-Ga2O3 by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, Wet etching
刊行年月日
2025-08-01
更新時刻
2025-08-18 16:30:36 +0900
Materials issues and devices of α- and β-Ga2O3.pdf
Materials issues and devices of α- and β-Ga2O3
ジャーナル論文
著者
Elaheh Ahmadi (author) (この著者で検索)
;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, power device, epitaxy
刊行年月日
2019-10-28
更新時刻
2024-01-29 15:08:11 +0900
J_Appl_Phys_139_075302_(2026).pdf
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kazuto Murakami (author) (この著者で検索)
;
Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)
;
Takahiro Tomita (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, HVPE, Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900
Plasma-free anisotropic selective-area etching of -Ga2O3 using forming gas under atmospheric pressure_organized.pdf
Plasma-free anisotropic selective-area etching of β-Ga 2 O 3 using forming gas under atmospheric pressure
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Rie Togashi (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, forming gas, anisotropic etching, plasma-free process
刊行年月日
2024-12-31
更新時刻
2024-07-31 12:30:20 +0900
Figures181210.pdf
Halide Vapor Phase Epitaxy 2—Heteroepitaxial Growth of α- and ɛ-Ga2O3
書籍
著者
大島祐一 (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Functional Materials/Optical Materials Field/Optical Single Crystals Group
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2020-04-24
更新時刻
2024-01-30 10:29:29 +0900
Oshima_2025_Appl._Phys._Express_18_116501-1.pdf
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900
manuscript2022-11.pdf
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
ジャーナル論文
著者
Qihao Zhang (author) (この著者で検索)
;
Jiangwei Liu (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Chunming Tu (author) (この著者で検索)
;
Dongyuan Zhai (author) (この著者で検索)
;
Min He (author) (この著者で検索)
;
Jiwu Lu (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, Transistor
刊行年月日
2023-01-03
更新時刻
2025-01-04 16:30:50 +0900