26 件のレコードが見つかりました。
Low-Energy Dissipation Diamond MEMS
- 論文
- 著者
-
Guo Chen
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-09-27
- 更新時刻
- 2025-07-29 08:30:21 +0900
Single-Crystal Diamond MEMS Magnetic Sensor
- 書籍
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2024-05-22
- 更新時刻
- 2024-10-21 12:30:45 +0900
Disclosing the annihilation effect of ion-implantation induced defects in single-crystal diamond by resonant MEMS
- 論文
- 著者
-
Guo Chen
;
Zilong Zhang
;
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Zhaohui Huang
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2023-07-26
- 更新時刻
- 2025-07-26 08:30:34 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- 論文
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Masaya Toda
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, Magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2023-03-27
- 更新時刻
- 2024-07-04 16:30:34 +0900
[Research Highlights Vol.68] New GaN MEMS Resonator Is Temperature-Stable up to 600 K
- 雑誌
- コレクション
- Research Highlights
- 著者
- International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA)
- キーワード
- GaN, MEMS, NEMS, energy storage, temperature coefficient of frequency, AlN, Si, Strain
- 刊行年月日
- 2021-07-13
- 更新時刻
- 2023-12-26 21:38:08 +0900