キーワード: HVPE
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5 件のレコードが見つかりました。

HVPE-aGa2O3-rapid growth200203.pdf
Rapid growth of α-Ga2O3 by HCl-boosted halide vapor phase epitaxy and effect of precursor supply conditions on crystal properties
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2020-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:40:57 +0900
EB_alpha-GO_240422-2HQ(clean).pdf
Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
FLOSFIA INC.
キーワード
Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
刊行年月日
2025-05-19
更新時刻
2025-05-21 16:30:09 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase.pdf
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
K. Kawara (author) (この著者で検索)
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T. Shinohe (author) (この著者で検索)
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T. Hitora (author) (この著者で検索)
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M. Kasu (author) (この著者で検索)
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S. Fujita (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE, ELO, dislocation
刊行年月日
2019-02-01
更新時刻
2024-01-29 16:48:15 +0900
Epitaxial growth of phase-pure ε-Ga2O3 by halide vapor.pdf
Epitaxial growth of phase-pure e-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)
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Yoshitaka Matsushita (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Satoshi Yamamoto (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID ;
Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
κ-Ga2O3, ε-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2015-08-28
更新時刻
2024-01-30 15:45:38 +0900
Maskless_230605_clean.pdf
Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers via rapid growth at low temperatures by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Hiroyuki Ando (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, dislocation, HVPE
刊行年月日
2023-06-01
更新時刻
2024-06-23 08:30:11 +0900