Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy

ジャーナル論文

著者

Y. Oshima (author) (この著者で検索)

https://orcid.org/0000-0001-8293-4891

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Y. Oshima ;

K. Kawara (author) (この著者で検索)

K. Kawara ;

T. Shinohe (author) (この著者で検索)

T. Shinohe ;

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T. Hitora ;

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M. Kasu ;

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S. Fujita

キーワード

α-Ga2O3, HVPE, ELO, dislocation

刊行年月日

2019-02-01

更新時刻

2024-01-29 16:48:15 +0900