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Ultra-High-Resolution Thermometer Based on Diamond MEMS
- 口頭発表
- 著者
-
Wen Zhao
;
Tokuyuki Teraji
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-05-22 08:30:40 +0900
Revealing the Surface Adsorbates of Diamond Using MEMS Resonators
- ポスター
- 著者
-
Keyun Gu
;
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-05-22 08:30:23 +0900
High Quality Factor Single-Crystal Diamond NEMS Cantilevers Fabricated by A Smart-Cut Method
- ポスター
- 著者
-
Guo Chen
;
Wen Zhao
;
Keyun Gu
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-05-22 08:30:08 +0900
Effect of Oxygen Terminal Surface Adsorption Layer on Energy Dissipation in Single-Crystal Diamond MEMS
- 口頭発表
- 著者
-
Keyun Gu
;
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Jian Huang
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- ダイヤモンド, MEMS
- 刊行年月日
- 更新時刻
- 2025-04-12 08:30:28 +0900
Diamond NEMS Resonators for Real-Time Dual Sensing of Magnetic Fields and Temperatures up to 500°C
- プロシーディングス
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Keyun Gu
;
Guo Chen
;
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2024-05-02
- 更新時刻
- 2025-01-25 08:30:41 +0900
Low-Energy Dissipation Diamond MEMS
- 論文
- 著者
-
Guo Chen
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-09-27
- 更新時刻
- 2025-07-29 08:30:21 +0900
Single-Crystal Diamond MEMS Magnetic Sensor
- 書籍
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2024-05-22
- 更新時刻
- 2024-10-21 12:30:45 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- 論文
- 著者
-
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Masaya Toda
;
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
- キーワード
- Diamond, MEMS, Magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2023-03-27
- 更新時刻
- 2024-07-04 16:30:34 +0900
[Research Highlights Vol.68] New GaN MEMS Resonator Is Temperature-Stable up to 600 K
- 雑誌
- コレクション
- Research Highlights
- 著者
- International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA)
- キーワード
- GaN, MEMS, NEMS, energy storage, temperature coefficient of frequency, AlN, Si, Strain
- 刊行年月日
- 2021-07-13
- 更新時刻
- 2023-12-26 21:38:08 +0900