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ファイル種別: application/pdf
ライセンス: In Copyright
キーワード: MEMS
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5 件のレコードが見つかりました。
20.1 A 3.5×3.5mm
2
1.47mW/ch 16-Channel MSS-CMOS Heterogeneous Multi-Modal-Gas-Sensor Chip Stack
ジャーナル論文
著者
Kotaro Naruse
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)
Kotaro Naruse
;
Naru Kato
(author) (
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)
Naru Kato
;
Takuma Matsumori
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)
Takuma Matsumori
;
Jun Shlomi
(author) (
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)
Jun Shlomi
;
Yoshihiro Midoh
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)
Yoshihiro Midoh
;
Tetsuya Hirose
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)
Tetsuya Hirose
;
Gaku Imamura
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0002-3130-7190
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Gaku Imamura
;
Genki Yoshikawa
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0002-9136-8964
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Genki Yoshikawa
;
Constantine Sideris
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)
Constantine Sideris
;
Noriyuki Miura
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)
Noriyuki Miura
キーワード
gas sensor
,
CMOS
,
MEMS
刊行年月日
2025-02-16
更新時刻
2025-12-25 16:21:05 +0900
Single-Crystal Diamond MEMS for Extreme Sensors
プロシーディングス論文
著者
Meiyong Liao
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
sensors
刊行年月日
2025-03-09
更新時刻
2025-07-29 16:30:25 +0900
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
ジャーナル論文
著者
Zilong Zhang
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)
https://orcid.org/0000-0002-9759-9253
Zilong Zhang
;
Keyun Gu
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)
Keyun Gu
;
Masaya Toda
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)
https://orcid.org/0000-0003-3849-6948
(unauthenticated)
Masaya Toda
;
Meiyong Liao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
magnetic sensors
刊行年月日
2025-03-01
更新時刻
2025-05-19 16:30:19 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
ジャーナル論文
著者
Zilong Zhang
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0002-9759-9253
National Institute for Materials Science
Zilong Zhang
;
Wen Zhao
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)
Wen Zhao
;
Guo Chen
(author) (
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)
National Institute for Materials Science
Guo Chen
;
Masaya Toda
(author) (
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)
Masaya Toda
;
Satoshi Koizumi
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0003-4961-5658
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Satoshi Koizumi
;
Yasuo Koide
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8321-9822
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yasuo Koide
;
Meiyong Liao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
Magnetic sensors
刊行年月日
2023-03-27
更新時刻
2024-07-04 16:30:34 +0900
[Research Highlights Vol.68] New GaN MEMS Resonator Is Temperature-Stable up to 600 K
雑誌
コレクション
Research Highlights
著者
International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA)
(author) (
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)
National Institute for Materials Science
International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA)
キーワード
GaN
,
MEMS
,
NEMS
,
energy storage
,
temperature coefficient of frequency
,
AlN
,
Si
,
Strain
刊行年月日
2021-07-13
更新時刻
2023-12-26 21:38:08 +0900
キーワード
MEMS
(5)
Diamond
(3)
AlN
(1)
CMOS
(1)
GaN
(1)
Magnetic sensors
(1)
NEMS
(1)
Si
(1)
Strain
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energy storage
(1)
gas sensor
(1)
magnetic sensors
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temperature coefficient of frequency
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