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Disclosing the annihilation effect of ion-implantation induced defects in single-crystal diamond by resonant MEMS
- ジャーナル論文
- 著者
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;Guo Chen (author) (この著者で検索);Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Yasuo Koide (author) (この著者で検索);Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索);Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2023-07-26
- 更新時刻
- 2025-07-26 08:30:34 +0900
High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures
- プロシーディングス論文
- 著者
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;Guo Chen (author) (この著者で検索);Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Keyun Gu (author) (この著者で検索);Liwen Sang (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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;Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-05-02
- 更新時刻
- 2024-10-11 16:30:28 +0900
Higher-order resonance of single-crystal diamond cantilever sensors toward high f‧Q products
- ジャーナル論文
- 著者
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;Guo Chen (author) (この著者で検索)Zilong Zhang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Liwen Sang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索);Haitao Ye (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-02-01
- 更新時刻
- 2024-08-31 08:30:32 +0900