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Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (6)
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ファイル種別
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キーワード: Ga2O3
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Near-vertical plasma-free HCl gas etching on (011) β-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
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https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
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)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
crystallographic etching
,
(011)
刊行年月日
2025-01-01
更新時刻
2026-01-24 15:43:35 +0900
Fabrication of coherent γ-Al2O3/Ga2O3 superlattices on MgAl2O4 substrates
ジャーナル論文
著者
Yuji Kato
(author) (
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)
Yuji Kato
;
Masataka Imura
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)
https://orcid.org/0000-0002-4236-9549
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Masataka Imura
;
Yoshiko Nakayama
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)
https://orcid.org/0000-0002-7607-6779
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yoshiko Nakayama
;
Masaki Takeguchi
(author) (
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https://orcid.org/0000-0002-0282-6020
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Masaki Takeguchi
;
Takayoshi Oshima
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https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
Superlattice
刊行年月日
2019-06-01
更新時刻
2024-01-05 22:11:34 +0900
α-Al2O3/Ga2O3 superlattices coherently grown on r-plane sapphire
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
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https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuji Kato
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Yuji Kato
;
Masataka Imura
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)
https://orcid.org/0000-0002-4236-9549
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Masataka Imura
;
Yoshiko Nakayama
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https://orcid.org/0000-0002-7607-6779
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yoshiko Nakayama
;
Masaki Takeguchi
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https://orcid.org/0000-0002-0282-6020
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Masaki Takeguchi
キーワード
Ga2O3
,
Superlattice
刊行年月日
2018-06-01
更新時刻
2024-01-05 22:12:13 +0900
Epitaxial relationship of NiO on (-102) β-Ga2O3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Shinji Nakagomi
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Ishinomaki Senshu University Faculty of Science and Engineering
Shinji Nakagomi
キーワード
Ga2O3
,
NiO
,
epitaxial relationship
刊行年月日
2023-12-01
更新時刻
2024-11-23 16:30:35 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
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https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HCl gas etching
刊行年月日
2023-06-01
更新時刻
2024-06-15 08:30:13 +0900
Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
selective area growth
刊行年月日
2022-07-01
更新時刻
2024-01-05 22:13:27 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
lithography
刊行年月日
2023-01-01
更新時刻
2024-01-24 11:20:15 +0900
キーワード
Ga2O3
(7)
Superlattice
(2)
(011)
(1)
HCl gas etching
(1)
NiO
(1)
crystallographic etching
(1)
epitaxial relationship
(1)
lithography
(1)
selective area growth
(1)
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