資源タイプ: ジャーナル論文 キーワード: HVPE
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Maskless_230605_clean.pdf
Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers via rapid growth at low temperatures by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Hiroyuki Ando (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, dislocation, HVPE
刊行年月日
2023-06-01
更新時刻
2024-06-23 08:30:11 +0900
BGO(-102)HVPE_full_230811_clean.pdf
Homoepitaxial growth of (-102) β-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
β-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2023-10-01
更新時刻
2024-08-31 08:31:17 +0900
alpha-Ga2O3-ver4.0.pdf
Halide Vapor Phase Epitaxy of twin-free a-Ga2O3 on sapphire (0001) substrates
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)
;
Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2015-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:34:09 +0900
paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along .pdf
Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along -12-10>
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Shingo Yagyu (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE, dislocation, ELO
刊行年月日
2021-11-07
更新時刻
2024-01-30 16:49:49 +0900
Rapid homoepitaxial growth of 011 -Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy.pdf
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
HVPE-aGa2O3-rapid growth200203.pdf
Rapid growth of α-Ga2O3 by HCl-boosted halide vapor phase epitaxy and effect of precursor supply conditions on crystal properties
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2020-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:40:57 +0900
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