キーワード: Ga2O3
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Plasma-free anisotropic selective-area etching of -Ga2O3 using forming gas under atmospheric pressure_organized.pdf
Plasma-free anisotropic selective-area etching of β-Ga 2 O 3 using forming gas under atmospheric pressure
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Rie Togashi (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, forming gas, anisotropic etching, plasma-free process
刊行年月日
2024-12-31
更新時刻
2024-07-31 12:30:20 +0900
J_Appl_Phys_139_075302_(2026).pdf
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kazuto Murakami (author) (この著者で検索)
;
Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)
;
Takahiro Tomita (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, HVPE, Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900
Maruzane_2025_J._Phys._D__Appl._Phys._58_03LT02.pdf
Luminescence properties of dislocations in α-Ga2O3
ジャーナル論文
著者
Mugove Maruzane (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI ;
Olha Makydonska (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Paul R Edwards (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Robert W Martin (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Fabien C-P Massabuau (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Ga2O3, dislocation
刊行年月日
2025-01-20
更新時刻
2024-11-13 08:31:40 +0900
paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
EB_alpha-GO_240422-2HQ(clean).pdf
Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
FLOSFIA INC.
キーワード
Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
刊行年月日
2025-05-19
更新時刻
2025-05-21 16:30:09 +0900
alpha_SL.docx
α-Al2O3/Ga2O3 superlattices coherently grown on r-plane sapphire
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Yuji Kato (author) (この著者で検索)
;
Masataka Imura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Yoshiko Nakayama (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Masaki Takeguchi (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, Superlattice
刊行年月日
2018-06-01
更新時刻
2024-01-05 22:12:13 +0900
T. Oshima_Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography.docx
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, lithography
刊行年月日
2023-01-01
更新時刻
2024-01-24 11:20:15 +0900
jjap_65_3_038003-1.pdf
Mapping primary crystallographic planes in β -Ga 2 O 3 based on a pseudo-cubic oxygen sublattice
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, fcc
刊行年月日
2026-02-16
更新時刻
2026-02-18 16:30:08 +0900
gamma_SL.docx
Fabrication of coherent γ-Al2O3/Ga2O3 superlattices on MgAl2O4 substrates
ジャーナル論文
著者
Yuji Kato (author) (この著者で検索)
;
Masataka Imura (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Yoshiko Nakayama (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Masaki Takeguchi (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, Superlattice
刊行年月日
2019-06-01
更新時刻
2024-01-05 22:11:34 +0900
055207_1_5.0260753-2-8.pdf
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
刊行年月日
2025-05-01
更新時刻
2025-05-07 12:30:22 +0900
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