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Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0007-0382-0396
(unauthenticated)
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;Kazuto Murakami (author) (この著者で検索);Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)Takahiro Tomita (author) (この著者で検索) - キーワード
- Ga2O3, HVPE, Cr2O3
- 刊行年月日
- 2026-02-21
- 更新時刻
- 2026-02-18 16:30:15 +0900
Epitaxial growth of phase-pure e-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)Yoshitaka Matsushita (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Satoshi Yamamoto (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- κ-Ga2O3, ε-Ga2O3, HVPE
- 刊行年月日
- 2015-08-28
- 更新時刻
- 2024-01-30 15:45:38 +0900