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High-order resonance enhancing the mass sensitivity of diamond cantilevers
- ジャーナル論文
- 著者
-
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0001-8159-8195
(unauthenticated)
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Guo Chen (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0004-9263-5616
(unauthenticated)
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Keyun Gu (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7505-7744
(unauthenticated)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-04-01
- 更新時刻
- 2025-07-12 08:30:35 +0900
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-11-01
- 更新時刻
- 2025-11-27 08:30:13 +0900
Ultra‐High Sensitivity, Wide‐Range Thermometry Based on High‐Quality Microscale Diamond Resonators
- ジャーナル論文
- 著者
-
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0001-8159-8195
(unauthenticated)
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Guo Chen (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0009-0004-9263-5616
(unauthenticated)
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Tokuyuki Teraji (author) (この著者で検索)
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;Yasuo Koide (author) (この著者で検索);Masaya Toda (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-07-28
- 更新時刻
- 2025-10-28 12:30:23 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Wen Zhao (author) (この著者で検索);Guo Chen (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS, Magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2023-03-27
- 更新時刻
- 2024-07-04 16:30:34 +0900
[Research Highlights Vol.68] New GaN MEMS Resonator Is Temperature-Stable up to 600 K
- 雑誌
- コレクション
- Research Highlights
- 著者
-
International Center for Materials Nanoarchitectonics (WPI-MANA) (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- GaN, MEMS, NEMS, energy storage, temperature coefficient of frequency, AlN, Si, Strain
- 刊行年月日
- 2021-07-13
- 更新時刻
- 2023-12-26 21:38:08 +0900
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Masaya Toda (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0003-3849-6948
(unauthenticated)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2025-03-01
- 更新時刻
- 2025-05-19 16:30:19 +0900
Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900
Surface desorption properties of hydrogen-terminated diamond detected by micromechanical resonator
- ジャーナル論文
- 著者
-
Keyun Gu (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-7505-7744
(unauthenticated)
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Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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Jian Huang (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0002-1268-8899
(unauthenticated)
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, surface conductivity, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-06-02
- 更新時刻
- 2025-07-14 12:30:29 +0900