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α-Al2O3/Ga2O3 superlattices coherently grown on r-plane sapphire
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuji Kato
;
Masataka Imura
;
Yoshiko Nakayama
;
Masaki Takeguchi
- キーワード
- Ga2O3, Superlattice
- 刊行年月日
- 2018-06-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:12:13 +0900
Epitaxial relationship of NiO on (-102) β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Shinji Nakagomi
- キーワード
- Ga2O3, NiO, epitaxial relationship
- 刊行年月日
- 2023-12-01
- 更新時刻
- 2024-11-23 16:30:35 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, HCl gas etching
- 刊行年月日
- 2023-06-01
- 更新時刻
- 2024-06-15 08:30:13 +0900
Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, selective area growth
- 刊行年月日
- 2022-07-01
- 更新時刻
- 2024-01-05 22:13:27 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
- 論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima
- キーワード
- Ga2O3, lithography
- 刊行年月日
- 2023-01-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 11:20:15 +0900
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
- 論文
- 著者
-
Qihao Zhang
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Jiangwei Liu
;
Chunming Tu
;
Dongyuan Zhai
;
Min He
;
Jiwu Lu
- キーワード
- Ga2O3, Transistor
- 刊行年月日
- 2023-01-03
- 更新時刻
- 2025-01-04 16:30:50 +0900