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Creative Commons BY Attribution 4.0 International (10)
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Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (2)
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (16)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (1)
ファイル種別: application/pdf
キーワード: Ga2O3
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16 件のレコードが見つかりました。
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Comparative Study of the Optical Properties of α‐, β‐, and κ‐Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Lewis T. Penman
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-0147-9995
(unauthenticated)
Lewis T. Penman
;
Zak M. Johnston
(author) (
この著者で検索
)
Zak M. Johnston
;
Paul R. Edwards
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-7671-7698
(unauthenticated)
Paul R. Edwards
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Clifford McAleese
(author) (
この著者で検索
)
Clifford McAleese
;
Piero Mazzolini
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-2092-5265
(unauthenticated)
Piero Mazzolini
;
Matteo Bosi
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8992-0249
(unauthenticated)
Matteo Bosi
;
Luca Seravalli
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-2784-1785
(unauthenticated)
Luca Seravalli
;
Roberto Fornari
(author) (
この著者で検索
)
Roberto Fornari
;
Robert W. Martin
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-6119-764X
(unauthenticated)
Robert W. Martin
;
Fabien C.‐P. Massabuau
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1008-1652
(unauthenticated)
Fabien C.‐P. Massabuau
キーワード
Ga2O3
刊行年月日
2025-02-12
更新時刻
2025-08-18 16:30:52 +0900
Using selective-area growth and selective-area etching on (−102) β-Ga2O3 substrates to fabricate plasma-damage-free vertical fins and trenches
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
(-102)
,
selective area growth
,
selective area etching
刊行年月日
2024-01-22
更新時刻
2025-01-25 12:30:12 +0900
Halide Vapor Phase Epitaxy 2—Heteroepitaxial Growth of α- and ɛ-Ga2O3
書籍
著者
大島祐一
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
National Institute for Materials Science Research Center for Functional Materials/Optical Materials Field/Optical Single Crystals Group
NIMS Researchers Directory SAMURAI
大島祐一
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
刊行年月日
2020-04-24
更新時刻
2024-01-30 10:29:29 +0900
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
刊行年月日
2026-02-01
更新時刻
2026-02-25 12:30:03 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of
m
-plane α-Ga
2
O
3
by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takashi Shinohe
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0000-5559-1432
(unauthenticated)
Takashi Shinohe
キーワード
Ga2O3
,
dislocation
,
ELO
,
HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-04-23 12:30:12 +0900
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
(−112)
,
HVPE
,
HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Near-vertical plasma-free HCl gas etching on (011) β-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
crystallographic etching
,
(011)
刊行年月日
2025-01-01
更新時刻
2026-01-24 15:43:35 +0900
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga
2
O
3
by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HCl gas etching
,
air bridge
刊行年月日
2025-05-01
更新時刻
2025-05-07 12:30:22 +0900
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
ジャーナル論文
著者
Qihao Zhang
(author) (
この著者で検索
)
Qihao Zhang
;
Jiangwei Liu
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-2580-7401
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Jiangwei Liu
;
Chunming Tu
(author) (
この著者で検索
)
Chunming Tu
;
Dongyuan Zhai
(author) (
この著者で検索
)
Dongyuan Zhai
;
Min He
(author) (
この著者で検索
)
Min He
;
Jiwu Lu
(author) (
この著者で検索
)
Jiwu Lu
キーワード
Ga2O3
,
Transistor
刊行年月日
2023-01-03
更新時刻
2025-01-04 16:30:50 +0900
キーワード
Ga2O3
(16)
HVPE
(5)
HCl gas etching
(2)
TMAH
(2)
(-102)
(1)
(011)
(1)
(−112)
(1)
Cr2O3
(1)
Delafossite
(1)
ELO
(1)
HCl
(1)
MEMS
(1)
Power devices
(1)
Schottky
(1)
Thin film
(1)
Transistor
(1)
air bridge
(1)
anisotropic etching
(1)
crystallographic etching
(1)
dislocation
(1)
etching
(1)
fcc
(1)
forming gas
(1)
plasma-free process
(1)
selective area etching
(1)
selective area growth
(1)
wet etching
(1)
RDEメタデータ定義
RDE送り状
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資源タイプ
ジャーナル論文(15)
書籍(1)
キーワード
Ga2O3 (16)
HVPE (5)
HCl gas etching (2)
TMAH (2)
(-102) (1)
(011) (1)
(−112) (1)
Cr2O3 (1)
Delafossite (1)
ELO (1)
(more)
ライセンス
Creative Commons BY Attribution 4.0 International (10)
In Copyright (3)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (2)
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (16)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (1)