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キーワード: Ga2O3
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21 件のレコードが見つかりました。
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
論文
著者
Qihao Zhang ;
Jiangwei Liu
; Chunming Tu ; Dongyuan Zhai ; Min He ; Jiwu Lu
キーワード
Ga2O3
,
Transistor
刊行年月日
2023-01-03
更新時刻
2025-01-04 16:30:50 +0900
キーワード
Ga2O3
(21)
HVPE
(5)
TMAH
(3)
dislocation
(3)
ELO
(2)
etching
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