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Ga2O3 (18)
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In Copyright (4)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (3)
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (15)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (3)
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資源タイプ: ジャーナル論文
キーワード: Ga2O3
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18 件のレコードが見つかりました。
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Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga
2
O
3
by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
刊行年月日
2026-02-01
更新時刻
2026-02-25 12:30:03 +0900
High Schottky barrier formation in tilted-dipole PdCoO2/
β
-Ga2O3 (001) interfaces
ジャーナル論文
著者
Takayuki Harada
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0002-8657-2258
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayuki Harada
;
Takuro Nagai
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0001-5239-3334
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takuro Nagai
;
Kohei Sasaki
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-8923-7703
(unauthenticated)
Kohei Sasaki
キーワード
Thin film
,
Ga2O3
,
Delafossite
,
Power devices
,
Schottky
刊行年月日
2026-06-01
更新時刻
2026-06-10 14:51:59 +0900
Fabrication of
β
-Ga
2
O
3
/air-gap structures on (010)
β
-Ga
2
O
3
by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
,
wet etching
,
MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
(−112)
,
HVPE
,
HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Plasma-free anisotropic selective-area etching of β-Ga
2
O
3
using forming gas under atmospheric pressure
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Rie Togashi
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-9467-0755
(unauthenticated)
Rie Togashi
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
forming gas
,
anisotropic etching
,
plasma-free process
刊行年月日
2024-12-31
更新時刻
2024-07-31 12:30:20 +0900
Step-and-terrace surface formation on (001)
β
-Ga
2
O
3
by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
,
Wet etching
刊行年月日
2025-08-01
更新時刻
2025-08-18 16:30:36 +0900
Halide vapor phase epitaxy of a thick
c
-plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Shiyu Xiao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0007-0382-0396
(unauthenticated)
Shiyu Xiao
;
Kazuto Murakami
(author) (
この著者で検索
)
Kazuto Murakami
;
Katsuhiro Imai
(author) (
この著者で検索
)
Katsuhiro Imai
;
Takahiro Tomita
(author) (
この著者で検索
)
Takahiro Tomita
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
,
Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900
Epitaxial relationship of NiO on (-102) β-Ga2O3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Shinji Nakagomi
(author) (
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)
Ishinomaki Senshu University Faculty of Science and Engineering
Shinji Nakagomi
キーワード
Ga2O3
,
NiO
,
epitaxial relationship
刊行年月日
2023-12-01
更新時刻
2024-11-23 16:30:35 +0900
Lattice-matched (Al
x
Sc
y
Ga1−
x
−
y
)2O3/
β
-Ga2O3 heterostructures with widely tunable bandgap
ジャーナル論文
著者
Kazuki Koreishi
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0000-1580-8262
(unauthenticated)
Kazuki Koreishi
;
Kodai Niitsu
(author) (
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)
https://orcid.org/0000-0002-0430-8868
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Kodai Niitsu
;
Takuto Soma
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8685-9606
(unauthenticated)
Takuto Soma
;
Kohei Yoshimatsu
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-9288-068X
(unauthenticated)
Kohei Yoshimatsu
;
Akira Ohtomo
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-0300-4712
(unauthenticated)
Akira Ohtomo
キーワード
Ga2O3
,
Wide bandgap
,
Bandgap engineering
刊行年月日
2026-07-06
更新時刻
2026-08-06 09:39:59 +0900
キーワード
Ga2O3
(18)
HVPE
(4)
TMAH
(4)
dislocation
(2)
wet etching
(2)
(-102)
(1)
(−112)
(1)
Bandgap engineering
(1)
Cr2O3
(1)
Delafossite
(1)
ELO
(1)
HCl gas etching
(1)
MEMS
(1)
NiO
(1)
Power devices
(1)
Schottky
(1)
Superlattice
(1)
Thin film
(1)
Transistor
(1)
Wet etching
(1)
Wide bandgap
(1)
anisotropic etching
(1)
epitaxial relationship
(1)
forming gas
(1)
lithography
(1)
plasma-free process
(1)
selective area etching
(1)
selective area growth
(1)
RDEメタデータ定義
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ジャーナル論文(18)
キーワード
Ga2O3 (18)
HVPE (4)
TMAH (4)
dislocation (2)
wet etching (2)
(-102) (1)
(−112) (1)
Bandgap engineering (1)
Cr2O3 (1)
Delafossite (1)
(more)
ライセンス
Creative Commons BY Attribution 4.0 International (10)
In Copyright (4)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (3)
Creative Commons BY-NC Attribution-NonCommercial 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (15)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (3)
application/zip (1)