メニュー
MDRについて
ヘルプ
お問い合わせ
Switch language
日本語
English
ログイン
ログイン
Search MDR
Home
論文・データセット
コレクション
資源タイプ
ジャーナル論文(10)
キーワード
Ga2O3 (10)
HCl gas etching (3)
HVPE (3)
TMAH (2)
(−112) (1)
Bandgap engineering (1)
Cr2O3 (1)
MEMS (1)
Wet etching (1)
Wide bandgap (1)
(more)
ライセンス
Creative Commons BY Attribution 4.0 International (7)
In Copyright (2)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (8)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (2)
キーワード: Ga2O3
全ての絞り込みを解除
10 件のレコードが見つかりました。 1件目から10件目まで表示します。
全ての絞り込みを解除
Lattice-matched (Al
x
Sc
y
Ga1−
x
−
y
)2O3/
β
-Ga2O3 heterostructures with widely tunable bandgap
ジャーナル論文
著者
Kazuki Koreishi
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0000-1580-8262
(unauthenticated)
Kazuki Koreishi
;
Kodai Niitsu
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-0430-8868
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Kodai Niitsu
;
Takuto Soma
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8685-9606
(unauthenticated)
Takuto Soma
;
Kohei Yoshimatsu
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-9288-068X
(unauthenticated)
Kohei Yoshimatsu
;
Akira Ohtomo
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-0300-4712
(unauthenticated)
Akira Ohtomo
キーワード
Ga2O3
,
Wide bandgap
,
Bandgap engineering
刊行年月日
2026-07-06
更新時刻
2026-08-06 09:39:59 +0900
Halide vapor phase epitaxy of a thick
c
-plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Shiyu Xiao
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0007-0382-0396
(unauthenticated)
Shiyu Xiao
;
Kazuto Murakami
(author) (
この著者で検索
)
Kazuto Murakami
;
Katsuhiro Imai
(author) (
この著者で検索
)
Katsuhiro Imai
;
Takahiro Tomita
(author) (
この著者で検索
)
Takahiro Tomita
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
,
Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga
2
O
3
by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
lithography
刊行年月日
2023-01-01
更新時刻
2024-01-24 11:20:15 +0900
Anisotropic non-plasma HCl gas etching of (010) β-Ga2O3 substrate
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
National Institute for Materials Science
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HCl gas etching
刊行年月日
2023-06-01
更新時刻
2024-06-15 08:30:13 +0900
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
(−112)
,
HVPE
,
HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
HCl gas etching
,
air bridge
刊行年月日
2025-05-01
更新時刻
2025-05-07 12:30:22 +0900
Step-and-terrace surface formation on (001)
β
-Ga
2
O
3
by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
,
Wet etching
刊行年月日
2025-08-01
更新時刻
2025-08-18 16:30:36 +0900
Fabrication of
β
-Ga
2
O
3
/air-gap structures on (010)
β
-Ga
2
O
3
by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8550-9735
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Takayoshi Oshima
キーワード
Ga2O3
,
TMAH
,
wet etching
,
MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900
Luminescence properties of dislocations in α-Ga
2
O
3
ジャーナル論文
著者
Mugove Maruzane
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0004-9207-0424
(unauthenticated)
Mugove Maruzane
;
Yuichi Oshima
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-8293-4891
NIMS Researchers Directory SAMURAI
Yuichi Oshima
;
Olha Makydonska
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0009-0008-5562-2137
(unauthenticated)
Olha Makydonska
;
Paul R Edwards
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0001-7671-7698
(unauthenticated)
Paul R Edwards
;
Robert W Martin
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0002-6119-764X
(unauthenticated)
Robert W Martin
;
Fabien C-P Massabuau
(author) (
この著者で検索
)
https://orcid.org/0000-0003-1008-1652
(unauthenticated)
Fabien C-P Massabuau
キーワード
Ga2O3
,
dislocation
刊行年月日
2025-01-20
更新時刻
2024-11-13 08:31:40 +0900
キーワード
Ga2O3
(10)
HCl gas etching
(3)
HVPE
(3)
TMAH
(2)
(−112)
(1)
Bandgap engineering
(1)
Cr2O3
(1)
MEMS
(1)
Wet etching
(1)
Wide bandgap
(1)
air bridge
(1)
dislocation
(1)
lithography
(1)
wet etching
(1)
RDEメタデータ定義
RDE送り状
<
1
>
絞り込み
コレクション
資源タイプ
ジャーナル論文(10)
キーワード
Ga2O3 (10)
HCl gas etching (3)
HVPE (3)
TMAH (2)
(−112) (1)
Bandgap engineering (1)
Cr2O3 (1)
MEMS (1)
Wet etching (1)
Wide bandgap (1)
(more)
ライセンス
Creative Commons BY Attribution 4.0 International (7)
In Copyright (2)
Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International (1)
ファイル種別
application/pdf (8)
application/vnd.openxmlformats-officedocument.wordprocessingml.document (2)