資源タイプ: ジャーナル論文 キーワード: HVPE
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HVPE-aGa2O3-rapid growth200203.pdf
Rapid growth of α-Ga2O3 by HCl-boosted halide vapor phase epitaxy and effect of precursor supply conditions on crystal properties
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2020-05-01
更新時刻
2024-01-22 09:40:57 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase.pdf
Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
K. Kawara (author) (この著者で検索)
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T. Shinohe (author) (この著者で検索)
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T. Hitora (author) (この著者で検索)
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M. Kasu (author) (この著者で検索)
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S. Fujita (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE, ELO, dislocation
刊行年月日
2019-02-01
更新時刻
2024-01-29 16:48:15 +0900
paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
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