キーワード: Ga2O3

14 件のレコードが見つかりました。

manuscript2022-11.pdf
High-performance β-Ga2O3 Schottky barrier diodes and metal-semiconductor field-effect transistors on a high doping level epitaxial layer
ジャーナル論文
著者
Qihao Zhang (author) (この著者で検索)
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Jiangwei Liu (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Chunming Tu (author) (この著者で検索)
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Dongyuan Zhai (author) (この著者で検索)
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Min He (author) (この著者で検索)
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Jiwu Lu (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, Transistor
刊行年月日
2023-01-03
更新時刻
2025-01-04 16:30:50 +0900

042110_1_5.0186319.pdf
Using selective-area growth and selective-area etching on (−102) β-Ga2O3 substrates to fabricate plasma-damage-free vertical fins and trenches
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (-102), selective area growth, selective area etching
刊行年月日
2024-01-22
更新時刻
2025-01-25 12:30:12 +0900

gamma_SL.docx
Fabrication of coherent γ-Al2O3/Ga2O3 superlattices on MgAl2O4 substrates
ジャーナル論文
著者
Yuji Kato (author) (この著者で検索)
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Masataka Imura (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Yoshiko Nakayama (author) (この著者で検索)
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Masaki Takeguchi (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, Superlattice
刊行年月日
2019-06-01
更新時刻
2024-01-05 22:11:34 +0900

162102_1_5.0138736.pdf
Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, etching, HCl
刊行年月日
2023-04-17
更新時刻
2024-05-29 08:30:12 +0900