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Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takashi Shinohe
- キーワード
- Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
- 刊行年月日
- 2025-05-19
- 更新時刻
- 2025-05-21 16:30:09 +0900
Elimination of threading dislocations in α-Ga2O3 by double layered epitaxial lateral overgrowth
- 論文
- 著者
-
Katsuaki Kawara
;
Yuichi Oshima
;
Mitsuru Okigawa
;
Takashi Shinohe
- キーワード
- α-Ga2O3, dislocation, ELO
- 刊行年月日
- 2020-07-01
- 更新時刻
- 2024-01-22 09:40:04 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along -12-10>
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Shingo Yagyu
;
Takashi Shinohe
- キーワード
- α-Ga2O3, HVPE, dislocation, ELO
- 刊行年月日
- 2021-11-07
- 更新時刻
- 2024-01-30 16:49:49 +0900
Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers via rapid growth at low temperatures by halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Hiroyuki Ando
;
Takashi Shinohe
- キーワード
- α-Ga2O3, dislocation, HVPE
- 刊行年月日
- 2023-06-01
- 更新時刻
- 2024-06-23 08:30:11 +0900