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From Mechanics to Electronics: Influence of ALD Interlayers on the Multiaxial Electro‐Mechanical Behavior of Metal–Oxide Bilayers
- 論文
- 著者
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Johanna Byloff
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Vivek Devulapalli
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Daniele Casari
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Thomas E. J. Edwards
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Claus O. W. Trost
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Megan J. Cordill
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Shuhel Altaf Husain
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Pierre‐Olivier Renault
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Damien Faurie
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Barbara Putz
- キーワード
- atomic layer deposition, electromechanical properties, flexible polymer substrates, tensile testing, thin films
- 刊行年月日
- 2025-11-27
- 更新時刻
- 2026-01-20 11:54:44 +0900
Effects of Plasma Reactants on Atomic Layer Deposition of Lithium Phosphate and Lithium Phosphorus Oxynitride Electrolyte Films
- 論文
- 著者
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Tohru Tsuruoka
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Samapika Mallik
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Takuji Tsujita
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Yuu Inatomi
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Kazuya Terabe
- キーワード
- atomic layer deposition, lithium phosphate, lithium phosphorus oxynitride, solid-state electrolyte, plasma reactant
- 刊行年月日
- 2024-06-25
- 更新時刻
- 2025-06-25 08:30:22 +0900