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Epitaxial growth of phase-pure e-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)Yoshitaka Matsushita (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Satoshi Yamamoto (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- κ-Ga2O3, ε-Ga2O3, HVPE
- 刊行年月日
- 2015-08-28
- 更新時刻
- 2024-01-30 15:45:38 +0900