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Composition determination of beta-(AlxGa1-x)2O3 layers coherently grown on (010) beta-Ga2O3 substrates by high-resolution x-ray diffraction
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Elaheh Ahmadi (author) (この著者で検索);Stefan C. Badescu (author) (この著者で検索);Feng Wu (author) (この著者で検索)James S. Speck (author) (この著者で検索) - キーワード
- β-Ga2O3, composition, atom probe
- 刊行年月日
- 2016-06-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 09:26:50 +0900
Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900