キーワード: Ga2O3

7 件のレコードが見つかりました。

band_pdos.png
First-principles lattice thermal conductivity calculation for Ga2O3 / C2/m (12) / materials id 886
データセット
コレクション
MDR lattice thermal conductivity calculation database
著者
Atsushi Togo (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Center for Basic Research on Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Lattice thermal conductivity, Ga2O3
刊行年月日
更新時刻
2026-01-24 14:36:41 +0900

band_pdos.png
First-principles lattice thermal conductivity calculation for Ga2O3 / R-3c (167) / materials id 1243
データセット
コレクション
MDR lattice thermal conductivity calculation database
著者
Atsushi Togo (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Center for Basic Research on Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Lattice thermal conductivity, Ga2O3
刊行年月日
更新時刻
2026-01-24 12:32:36 +0900

Manuscript_final .docx
Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, selective area growth
刊行年月日
2022-07-01
更新時刻
2024-01-05 22:13:27 +0900

162102_1_5.0138736.pdf
Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, etching, HCl
刊行年月日
2023-04-17
更新時刻
2024-05-29 08:30:12 +0900

Oshima_2025_Appl._Phys._Express_18_116501-1.pdf
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900

042110_1_5.0186319.pdf
Using selective-area growth and selective-area etching on (−102) β-Ga2O3 substrates to fabricate plasma-damage-free vertical fins and trenches
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (-102), selective area growth, selective area etching
刊行年月日
2024-01-22
更新時刻
2025-01-25 12:30:12 +0900

J_Appl_Phys_139_075302_(2026).pdf
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kazuto Murakami (author) (この著者で検索)
;
Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)
;
Takahiro Tomita (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, HVPE, Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900

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