キーワード: HVPE

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J_Appl_Phys_139_075302_(2026).pdf
Halide vapor phase epitaxy of a thick c -plane α-Ga2O3 film on a high-quality α-Cr2O3/sapphire template
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Shiyu Xiao (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kazuto Murakami (author) (この著者で検索)
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Katsuhiro Imai (author) (この著者で検索)
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Takahiro Tomita (author) (この著者で検索)
キーワード
Ga2O3, HVPE, Cr2O3
刊行年月日
2026-02-21
更新時刻
2026-02-18 16:30:15 +0900

Hydride vapor phase epitaxy and characterization of highquality ScN epilayers.pdf
Hydride Vapor Phase Epitaxy and characterization of High-Quality ScN epilayers
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Encarnación G. Víllora (author) (この著者で検索)
; ORCID SAMURAI
キーワード
ScN, HVPE
刊行年月日
2014-04-21
更新時刻
2024-01-30 16:35:16 +0900

Maskless_230605_clean.pdf
Reduction of dislocation density in α-Ga2O3 epilayers via rapid growth at low temperatures by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Hiroyuki Ando (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, dislocation, HVPE
刊行年月日
2023-06-01
更新時刻
2024-06-23 08:30:11 +0900