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20 件のレコードが見つかりました。
20.1 A 3.5×3.5mm
2
1.47mW/ch 16-Channel MSS-CMOS Heterogeneous Multi-Modal-Gas-Sensor Chip Stack
論文
著者
Kotaro Naruse ; Naru Kato ; Takuma Matsumori ; Jun Shlomi ; Yoshihiro Midoh ; Tetsuya Hirose ;
Gaku Imamura
;
Genki Yoshikawa
; Constantine Sideris ; Noriyuki Miura
キーワード
gas sensor
,
CMOS
,
MEMS
刊行年月日
2025-02-16
更新時刻
2025-12-25 16:21:05 +0900
Diamond MEMS Magnetic Force Sensor Toward Femtonewton at Room Temperature
プロシーディングス
著者
Zilong Zhang ; Zhijian Zhao ;
Meiyong Liao
; Takahito Ono ; Masaya Toda
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
magnetic sensors
刊行年月日
2025-01-19
更新時刻
2025-11-13 16:30:04 +0900
High-quality Factor Diamond MEMS Resonators for Ultra-precise Thermometry
口頭発表
著者
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Zhaozong Zhang
;
Satoshi KOIZUMI
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond,
,
MEMS
刊行年月日
更新時刻
2026-01-09 11:00:08 +0900
単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析
口頭発表
著者
張 兆宗
;
ザオ ウェン
;
陳 果
;
小泉 聡
;
廖 梅勇
キーワード
Diamond
,
MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:37 +0900
Developing nickel-catalyzed graphene/diamond heterostructures for MEMS applications
口頭発表
著者
Guo Chen
;
Wen Zhao
;
Zhaozong Zhang
;
Satoshi KOIZUMI
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:32 +0900
Characterization of Young’s Modulus Anisotropy of Single-Crystal Diamond
口頭発表
著者
Zhaozong Zhang
;
Wen Zhao
;
Guo Chen
;
Satoshi Koizumi
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:27 +0900
Single-Crystal Diamond MEMS for Extreme Sensors
プロシーディングス
著者
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
sensors
刊行年月日
2025-03-09
更新時刻
2025-07-29 16:30:25 +0900
Frequency stability improvement of single-crystal diamond cantilever utilizing higher-order-mode excitation
論文
著者
Wen Zhao ; Guo Chen ;
Zhaozong Zhang
;
Satoshi Koizumi
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
刊行年月日
2025-06-26
更新時刻
2025-07-11 16:30:21 +0900
Surface desorption properties of hydrogen-terminated diamond detected by micromechanical resonator
論文
著者
Keyun Gu
;
Zilong Zhang
;
Jian Huang
;
Yasuo Koide
;
Satoshi Koizumi
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
surface conductivity
,
MEMS
刊行年月日
2025-06-02
更新時刻
2025-07-14 12:30:29 +0900
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
論文
著者
Zilong Zhang
; Keyun Gu ;
Masaya Toda
;
Meiyong Liao
キーワード
Diamond
,
MEMS
,
magnetic sensors
刊行年月日
2025-03-01
更新時刻
2025-05-19 16:30:19 +0900
キーワード
MEMS
(20)
Diamond
(16)
magnetic sensors
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AlN
(1)
CMOS
(1)
Diamond,
(1)
GaN
(1)
Magnetic sensors
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NEMS
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