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Growth and etching characteristics of (001) β- Ga2O3 by plasma-assisted molecular beam epitaxy
- 論文
- 著者
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Yuichi Oshima
;
Elaheh Ahmadi
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Stephen Kaun
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Feng Wu
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James S Speck
- キーワード
- β-Ga2O3, MBE
- 刊行年月日
- 2018-01-01
- 更新時刻
- 2024-01-22 09:42:02 +0900
Effect of temperature and HCl partial pressure on the selective area gas etching of (001) β-Ga2O3
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- β-Ga2O3, etching
- 刊行年月日
- 2023-08-01
- 更新時刻
- 2024-08-21 08:30:30 +0900
Homoepitaxial growth of (-102) β-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
- 論文
- 著者
-
Yuichi Oshima
;
Takayoshi Oshima
- キーワード
- β-Ga2O3, HVPE
- 刊行年月日
- 2023-10-01
- 更新時刻
- 2024-08-31 08:31:17 +0900
Composition determination of beta-(AlxGa1-x)2O3 layers coherently grown on (010) beta-Ga2O3 substrates by high-resolution x-ray diffraction
- 論文
- 著者
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Yuichi Oshima
;
Elaheh Ahmadi
;
Stefan C. Badescu
;
Feng Wu
;
James S. Speck
- キーワード
- β-Ga2O3, composition, atom probe
- 刊行年月日
- 2016-06-01
- 更新時刻
- 2024-01-24 09:26:50 +0900