ライセンス: In Copyright キーワード: MEMS

20 件のレコードが見つかりました。

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20.1 A 3.5×3.5mm2 1.47mW/ch 16-Channel MSS-CMOS Heterogeneous Multi-Modal-Gas-Sensor Chip Stack
ジャーナル論文
著者
Kotaro Naruse (author) (この著者で検索)
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Naru Kato (author) (この著者で検索)
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Takuma Matsumori (author) (この著者で検索)
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Jun Shlomi (author) (この著者で検索)
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Yoshihiro Midoh (author) (この著者で検索)
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Tetsuya Hirose (author) (この著者で検索)
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Gaku Imamura (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Genki Yoshikawa (author) (この著者で検索)
ORCID SAMURAI ;
Constantine Sideris (author) (この著者で検索)
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Noriyuki Miura (author) (この著者で検索)
キーワード
gas sensor, CMOS, MEMS
刊行年月日
2025-02-16
更新時刻
2025-12-25 16:21:05 +0900

Zhang_MEMS2025_202415-submit.docx
Diamond MEMS Magnetic Force Sensor Toward Femtonewton at Room Temperature
プロシーディングス論文
著者
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
;
Zhijian Zhao (author) (この著者で検索)
; ORCID SAMURAI ;
Takahito Ono (author) (この著者で検索)
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Masaya Toda (author) (この著者で検索)
キーワード
Diamond, MEMS, magnetic sensors
刊行年月日
2025-01-19
更新時刻
2025-11-13 16:30:04 +0900

3-Abstract-WEN Liao.docx
High-quality Factor Diamond MEMS Resonators for Ultra-precise Thermometry
プレゼンテーション
著者
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Guo Chen (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Zhaozong Zhang (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Satoshi KOIZUMI (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond,, MEMS
刊行年月日
更新時刻
2026-01-09 11:00:08 +0900

NIMS張兆宗abstract Liao.docx
単結晶ダイヤモンドにおけるヤング率の定量評価と異方性解析
プレゼンテーション
著者
張 兆宗 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID ;
ザオ ウェン (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID ;
陳 果 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID ;
小泉 聡 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID SAMURAI ;
廖 梅勇 (author) (この著者で検索)
物質・材料研究機構 電子・光機能材料研究センター/機能材料分野/超ワイドギャップ半導体グループ
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:37 +0900

JSAP 2025 Abstract-chen_Liao.doc
Developing nickel-catalyzed graphene/diamond heterostructures for MEMS applications
プレゼンテーション
著者
Guo Chen (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Zhaozong Zhang (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Satoshi KOIZUMI (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:32 +0900

abstract Zhang_Liao.docx
Characterization of Young’s Modulus Anisotropy of Single-Crystal Diamond
プレゼンテーション
著者
Zhaozong Zhang (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Guo Chen (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID ;
Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS
刊行年月日
更新時刻
2025-11-06 12:30:27 +0900

edtm2025-paper-template-word_Liao 10.26.pdf
Single-Crystal Diamond MEMS for Extreme Sensors
プロシーディングス論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS, sensors
刊行年月日
2025-03-09
更新時刻
2025-07-29 16:30:25 +0900

5 Uploaded Manuscript__WEN-DRM.docx
Frequency stability improvement of single-crystal diamond cantilever utilizing higher-order-mode excitation
ジャーナル論文
著者
Wen Zhao (author) (この著者で検索)
;
Guo Chen (author) (この著者で検索)
;
Zhaozong Zhang (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS
刊行年月日
2025-06-26
更新時刻
2025-07-11 16:30:21 +0900

2025 03 15 APL mauscript of H-1 desorption.docx
Surface desorption properties of hydrogen-terminated diamond detected by micromechanical resonator
ジャーナル論文
著者
Keyun Gu (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID ;
Jian Huang (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, surface conductivity, MEMS
刊行年月日
2025-06-02
更新時刻
2025-07-14 12:30:29 +0900

perspective-20241226.pdf
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
ジャーナル論文
著者
ORCID ;
Keyun Gu (author) (この著者で検索)
;
Masaya Toda (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI
キーワード
Diamond, MEMS, magnetic sensors
刊行年月日
2025-03-01
更新時刻
2025-05-19 16:30:19 +0900