ライセンス: Creative Commons BY Attribution 4.0 International キーワード: Ga2O3
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article.pdf
Tetramethylammonium hydroxide (TMAH) treatment of dry-etched trenches on (010) β-Ga2O3 to enhance trench profiles
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH
刊行年月日
2026-02-01
更新時刻
2026-02-25 12:30:03 +0900
055207_1_5.0260753-2-8.pdf
Fabrication of air bridges on (100) β-Ga2O3 using crystallographic HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HCl gas etching, air bridge
刊行年月日
2025-05-01
更新時刻
2025-05-07 12:30:22 +0900
162102_1_5.0138736.pdf
Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, etching, HCl
刊行年月日
2023-04-17
更新時刻
2024-05-29 08:30:12 +0900
paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Dataset
Original dataset for ID 208 Ga2O3 in Thermophysical Property Database
データセット
コレクション
Thermophysical Property Original Datasets
著者
Takehiko Ishikawa (depositor) (この著者で検索)
Japan Aerospace Exploration Agency
;
Masashi Ishii (editor) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, Ceramic, Density, ISS-ELF, Electrostatic Levitation, collection - Thermophys Datasets
刊行年月日
更新時刻
2024-03-30 18:40:44 +0900
Oshima_2025_Appl._Phys._Express_18_116501-1.pdf
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
刊行年月日
2025-11-01
更新時刻
2025-11-27 08:30:13 +0900
band_pdos.png
First-principles lattice thermal conductivity calculation for Ga2O3 / C2/m (12) / materials id 886
データセット
コレクション
MDR lattice thermal conductivity calculation database
著者
Atsushi Togo (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Center for Basic Research on Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Lattice thermal conductivity, Ga2O3
刊行年月日
更新時刻
2026-01-24 14:36:41 +0900
band_pdos.png
First-principles lattice thermal conductivity calculation for Ga2O3 / R-3c (167) / materials id 1243
データセット
コレクション
MDR lattice thermal conductivity calculation database
著者
Atsushi Togo (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Center for Basic Research on Materials
ORCID SAMURAI
キーワード
Lattice thermal conductivity, Ga2O3
刊行年月日
更新時刻
2026-01-24 12:32:36 +0900
Rapid homoepitaxial growth of 011 -Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy.pdf
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
jjap_64_8_088001.pdf
Step-and-terrace surface formation on (001) β-Ga2O3 by wet etching using 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide (TMAH) lithographic developer
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, TMAH, Wet etching
刊行年月日
2025-08-01
更新時刻
2025-08-18 16:30:36 +0900
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