ファイル種別: application/pdf キーワード: Si/Ge multiple delta-doped layers
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表面科学_32_2011_664.pdf
Ultra High Depth Resolution Auger Depth Profiling by Both Electron and Ion Beams at the Glancing Incidence using an Inclined Specimen Holder
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Nagatomi, Takaharu (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Kim, Kyung Joong (author) (この著者で検索)
ORCID ; ORCID SAMURAI
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, Si/Ge multiple delta-doped layers, GaAs/AlAs Superlattice, Inclined Holder
刊行年月日
2011-10-24
更新時刻
2024-01-05 22:14:10 +0900
JSA_Vol18_No3_174.pdf
High-Sensitivity and High-Depth Resolution Auger Depth Profiling Using an Inclined Holder based on Geometric Characteristics of Auger Electron Spectroscopy Apparatus Equipped with Concentric Hemispherical Analyzer
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI ;
Kim, Kyung Joong (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Nagatomi, Takaharu (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Auger Depth Profiling Analysis, Si/Ge multiple delta-doped layers, GaAs/AlAs Superlattice, Inclined Holder
刊行年月日
2016-04-03
更新時刻
2024-01-05 22:13:47 +0900