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本研究ではX線光電子分光のサーベイスペクトルを活用したサロゲートモデルを提案します．この取り組みは本研究が初の試みです．このモデルは二層膜構造の膜厚に応じたスペクトル形状の変化を定量的に記述します．SESSAシミュレータを活用してサーベイスペクトルを各電子軌道ごとの寄与に分解し，厚さ依存を応答関数で記述することでSESSAのシミュレーションを一般化します．サロゲートモデルを使ったサーベイスペクトルのフィッティングにより，迅速かつ高精度な膜厚推定が可能となりました．

Rights:

• Creative Commons BY-NC-ND Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International
  

Keyword: X-ray photoelectron spectroscopy, Survey spectrum, Surrogate model, Total electron attenuation length, Thickness estimation

Date published: 2026-03-31

Publisher: Elsevier BV

Journal:

• Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena (ISSN: 03682048) vol. 286 147612

Funding:

• National Institute for Materials Science

Manuscript type: Publisher's version (Version of record)

MDR DOI:

First published URL: https://doi.org/10.1016/j.elspec.2026.147612

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Updated at: 2026-04-16 15:42:06 +0900

Published on MDR: 2026-04-16 18:27:28 +0900