ジャーナル論文
A data-driven surrogate model for X-ray photoelectron spectroscopy based on survey spectrum background features
Shunichi Yoneda
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Ryo Murakami
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National Institute for Materials Science
;
Hiroshi Shinotsuka
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National Institute for Materials Science
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Hideki Yoshikawa
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National Institute for Materials Science
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Shigeo Tanuma
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National Institute for Materials Science
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Hiromi Tanaka
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Hayaru Shouno
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Kenji Nagata
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National Institute for Materials Science
コレクション
引用
Shunichi Yoneda, Ryo Murakami, Hiroshi Shinotsuka, Hideki Yoshikawa, Shigeo Tanuma, Hiromi Tanaka, Hayaru Shouno, Kenji Nagata.
A data-driven surrogate model for X-ray photoelectron spectroscopy based on survey spectrum background features.
Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena.
2026,
286
(),
147612.
https://doi.org/10.1016/j.elspec.2026.147612
説明:
(abstract)本研究ではX線光電子分光のサーベイスペクトルを活用したサロゲートモデルを提案します．この取り組みは本研究が初の試みです．このモデルは二層膜構造の膜厚に応じたスペクトル形状の変化を定量的に記述します．SESSAシミュレータを活用してサーベイスペクトルを各電子軌道ごとの寄与に分解し，厚さ依存を応答関数で記述することでSESSAのシミュレーションを一般化します．サロゲートモデルを使ったサーベイスペクトルのフィッティングにより，迅速かつ高精度な膜厚推定が可能となりました．
権利情報:
キーワード: X-ray photoelectron spectroscopy, Survey spectrum, Surrogate model, Total electron attenuation length, Thickness estimation
刊行年月日: 2026-03-31
出版者: Elsevier BV
掲載誌:
- Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena (ISSN: 03682048) vol. 286 147612
研究助成金:
- National Institute for Materials Science
原稿種別: 出版者版 (Version of record)
MDR DOI:
公開URL: https://doi.org/10.1016/j.elspec.2026.147612
関連資料:
その他の識別子:
連絡先:
更新時刻: 2026-04-16 15:42:06 +0900
MDRでの公開時刻: 2026-04-16 18:27:28 +0900
| ファイル名 | サイズ | |||
|---|---|---|---|---|
| ファイル名 |
1-s2.0-S0368204826000216-main.pdf
(サムネイル)
application/pdf |
サイズ | 3.61MB | 詳細 |