InP/GaInAs多層膜のAES深さ方向分析のラウンドロビン試験報告（I）

論文

著者

Ogiwara, Toshiya ; Tanuma, Shigeo

キーワード

Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAs Specimen, Round Robin Test

刊行年月日

1995-11-16

更新時刻

2022-10-03 01:55:14 +0900