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Approach to Low Contact Resistance Formation on Buried Interface in Oxide Thin-Film Transistors: Utilization of Palladium-Mediated Hydrogen Pathway
- 論文
- 著者
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Yuhao Shi
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Masatake Tsuji
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Hanjun Cho
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Shigenori Ueda
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Junghwan Kim
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Hideo Hosono
- キーワード
- oxide semiconductors, IGZO, thin-film transistors, contact resistance, palladium, hydrogen
- 刊行年月日
- 2024-04-02
- 更新時刻
- 2024-04-08 16:30:22 +0900