キーワード: β-Ga2O3
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c-BGO-growth111017(SST)_2ndSubmission_Final.pdf
Growth and etching characteristics of (001) β- Ga2O3 by plasma-assisted molecular beam epitaxy
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Elaheh Ahmadi (author) (この著者で検索)
ORCID ;
Stephen Kaun (author) (この著者で検索)
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Feng Wu (author) (この著者で検索)
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James S Speck (author) (この著者で検索)
キーワード
β-Ga2O3, MBE
刊行年月日
2018-01-01
更新時刻
2024-01-22 09:42:02 +0900
Fabrication of -Ga2O3 air-gap structures on 001 -Ga2O3 using HCl gas etching.pdf
Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-09-04 12:30:25 +0900