Depth Profiling Analysis of InP/GaInAsP Multilayers by Auger Electron Spectroscopy. Effects of Zalar Rotation and Liquid Nitrogen Cold Stage
- ジャーナル論文
- 著者
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Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)
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;Nagasawa, Yuji (author) (この著者で検索)Ikeo, Nobuyuki (author) (この著者で検索) - キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, InP/GaInAsP Multilayers, Zalar Rotation Method, Sample Cooling Method
- 刊行年月日
- 2011-06-10
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:53:08 +0900
試料冷却法を併用したAES深さ方向分析によるSiO2/Si熱酸化膜の分析
- ジャーナル論文
- 著者
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Ogiwara, Toshiya (author) (この著者で検索)
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Tanuma, Shigeo (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Auger Depth Profiling Analysis, SiO2/Si, Sample Cooling Method
- 刊行年月日
- 1996-02-08
- 更新時刻
- 2022-10-03 01:39:59 +0900