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High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures
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;Guo Chen (author) (この著者で検索);Zilong Zhang (author) (この著者で検索);Keyun Gu (author) (この著者で検索);Liwen Sang (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)
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;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Yasuo Koide (author) (この著者で検索)
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;Zhaohui Huang (author) (この著者で検索)Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS
- 刊行年月日
- 2024-05-02
- 更新時刻
- 2024-10-11 16:30:28 +0900