A perspective on diamond MEMS magnetic sensors
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)
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;Keyun Gu (author) (この著者で検索)Masaya Toda (author) (この著者で検索)
https://orcid.org/0000-0003-3849-6948
(unauthenticated)
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Diamond, MEMS, magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2025-03-01
- 更新時刻
- 2025-05-19 16:30:19 +0900
Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900
Fabrication of β -Ga 2 O 3 /air-gap structures on (010) β -Ga 2 O 3 by wet etching in tetramethylammonium hydroxide (TMAH)
- ジャーナル論文
- 著者
-
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- Ga2O3, TMAH, wet etching, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-11-01
- 更新時刻
- 2025-11-27 08:30:13 +0900
On-chip Diamond MEMS Magnetic Sensing through Multifunctionalized Magnetostrictive Thin Film
- ジャーナル論文
- 著者
-
Zilong Zhang (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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;Wen Zhao (author) (この著者で検索);Guo Chen (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science;Masaya Toda (author) (この著者で検索)Satoshi Koizumi (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Yasuo Koide (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
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Meiyong Liao (author) (この著者で検索)National Institute for Materials Science
- キーワード
- Diamond, MEMS, Magnetic sensors
- 刊行年月日
- 2023-03-27
- 更新時刻
- 2024-07-04 16:30:34 +0900