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Fabrication of β-Ga 2 O 3 /air-gap structures on (001) β-Ga 2 O 3 using HCl gas etching
- ジャーナル論文
- 著者
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Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, cantilever, air bridge, MEMS
- 刊行年月日
- 2025-12-31
- 更新時刻
- 2025-09-04 12:30:25 +0900
Quasi-heteroepitaxial growth of β-Ga2O3 on off-angled sapphire (0001) substrates by Halide Vapor Phase Epitaxy
- ジャーナル論文
- 著者
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Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
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Encarnaciόn G. Vίllora (author) (この著者で検索)
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Kiyoshi Shimamura (author) (この著者で検索)
- キーワード
- β-Ga2O3, heteroepitaxy
- 刊行年月日
- 2014-10-28
- 更新時刻
- 2024-01-22 09:35:42 +0900