キーワード: etching
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2 件のレコードが見つかりました。

Clean manuscript(211010).pdf
Visualization of threading dislocations in an α-Ga2O3 epilayer by HCl gas etching
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Shingo Yagyu (author) (この著者で検索)
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Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, dislocation, etching
刊行年月日
2021-10-19
更新時刻
2024-01-22 09:38:31 +0900
162102_1_5.0138736.pdf
Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas
ジャーナル論文
著者
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, etching, HCl
刊行年月日
2023-04-17
更新時刻
2024-05-29 08:30:12 +0900