キーワード: ELO
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EB_alpha-GO_240422-2HQ(clean).pdf
Epitaxial Lateral Overgrowth of c-plane α-Ga2O3 using a stripe mask with ultra-narrow windows
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science Research Center for Electronic and Optical Materials/Functional Materials Field/Ultra-wide Bandgap Semiconductors Group
ORCID SAMURAI ;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
FLOSFIA INC.
キーワード
Ga2O3, dislocation, HVPE, ELO
刊行年月日
2025-05-19
更新時刻
2025-05-21 16:30:09 +0900
Manuscript clean pdf file(Oshima).pdf
Phase-controlled epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
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Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, ELO, HVPE
刊行年月日
2020-02-01
更新時刻
2024-01-22 09:41:33 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of m-plane -Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy-1.pdf
Epitaxial lateral overgrowth of m -plane α-Ga 2 O 3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
ORCID
キーワード
Ga2O3, dislocation, ELO, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-04-23 12:30:12 +0900
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