キーワード: HVPE
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paper_-112.pdf
HCl-based halide vapor phase epitaxy and selective-area HCl gas etching of (−112) β-Ga 2 O 3
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, (−112), HVPE, HCl gas etching
刊行年月日
2026-12-31
更新時刻
2026-07-16 10:12:49 +0900
Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along .pdf
Epitaxial lateral overgrowth of r-plane α-Ga2O3 with stripe masks along -12-10>
ジャーナル論文
著者
Yuichi Oshima (author) (この著者で検索)
National Institute for Materials Science
ORCID SAMURAI ;
Shingo Yagyu (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, HVPE, dislocation, ELO
刊行年月日
2021-11-07
更新時刻
2024-01-30 16:49:49 +0900
Rapid homoepitaxial growth of 011 -Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy.pdf
Rapid homoepitaxial growth of (011) β-Ga 2 O 3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ; ORCID SAMURAI
キーワード
Ga2O3, HVPE
刊行年月日
2025-12-31
更新時刻
2025-11-28 08:30:04 +0900
Manuscript clean pdf file(Oshima).pdf
Phase-controlled epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy
ジャーナル論文
著者
ORCID SAMURAI ;
Katsuaki Kawara (author) (この著者で検索)
;
Takayoshi Oshima (author) (この著者で検索)
;
Mitsuru Okigawa (author) (この著者で検索)
;
Takashi Shinohe (author) (この著者で検索)
キーワード
α-Ga2O3, ELO, HVPE
刊行年月日
2020-02-01
更新時刻
2024-01-22 09:41:33 +0900
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